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更新時間：2025-08-06
廠商性質：經銷商
訪 問 量 ：503
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瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔離閥
61.6 HV控制蝶閥提供出色的壓力控制和隔離性能。憑借其快速而精確的動作控制器（0.45秒），它是CVD工藝中精細控制和隔離的解決方案。蝶板作為一個節流元件，改變了閥口的傳導性。61.6的集成壓力控制器計算出所需的板塊位置，以盡可能快地達到設定的壓力。
61.6系列的隔離功能是專門為避免蝶閥的較高的密封磨損而設計的。通過它的中心外板軸以及閥體和密封座的特殊幾何形狀，密封摩擦降到低，密封性能得到提高。
61.6系列已經安裝在數以千計的各種工藝條件下的苛刻應用中，已經證明了其出色的可靠性。61.6系列具有堅固的設計和直接安裝選項，以及減少和方便的維護，在所有方面都表現優異。
本體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應、固定PI下流/軟泵）方面的各種設計選項簡化了61.6系列與各種真空應用的整合。
61.6 HV控制蝶閥有硬質陽極氧化鋁或不銹鋼材質，并配有ISO-KF和ISO-F標準法蘭接頭。可以集成客戶定制的法蘭，以及特殊功能，如集成加熱器與絕緣。可根據要求提供FFKM/FKM彈性體（FKM為標準）。
特點:
壓力控制和隔離
運行非常快
板載軟件，用于本地運行
惡劣工藝條件下可實現可靠運行
優勢:
工藝可控性更好
正常運行時間長/性能不受限
運行成本低
瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔離閥
| 尺寸 | DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63 ("), DN 80 (3"), DN 100 (4") | |
|---|---|---|
| 驅動器 | 帶有步進電機的集成控制器， 面向現場的控制(foc) | |
| 閥體材料 | 硬質陽極氧化鋁或不銹鋼 | |
| 標準法蘭 | ISO-KF, ISO-F | |
| 泄漏率：閥體 | 硬質陽極氧化鋁 不銹鋼 | < 1 × 10-5 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 泄漏率：閥座 | 硬質陽極氧化鋁 不銹鋼 | < 1 × 10-4 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 壓力范圍 | 硬質陽極氧化鋁 不銹鋼 | < 1 × 10-6 mbar 至 1.2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs) |
| 維護前開關次數1) | 壓力控制 隔離 | 200 萬次 25 萬次 (DN 40-50) 10 萬次 (DN 63-100) |
| 溫度 | 閥體 控制器 | ≤ 120 °C 最大 50℃（建議 ≤35℃） |
| 材料 | 鋁閥體/閥板 不銹鋼閥體/軸 | EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 或 1.4435) |
| 密封 | 閥板 饋通件 | 氟橡膠 氟橡膠 |
| 饋通件 | 旋轉饋通件 | |
| 安裝位置 | 閥座側朝向艙室 |
當前位置：
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